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空氣過濾器標準和效率

日期：2025-07-21 11:36
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摘要：
空氣過濾器標準和效率
隨著微電子工業(yè)的發(fā)展, 對高效過濾器要求越來越嚴, 德國標準DIN24183率先提出"*容易穿透粒徑"(Most Penetrating Particle Size, 簡稱MPPS)法, 并采用*容易穿透粒徑來檢測空氣過濾器的效率. 其實不同的濾料和不同的濾速*容易穿透粒徑是不同的, 一般在0.11um-0.25um范圍內(nèi). 然后以此粒徑測試其效率或用于掃描實驗.
MPPS是目前*嚴格的試驗標準, 具體測試一般采用DOP方法.
DOP(鄰苯二甲二辛酯)法: 實驗塵源為0.3um單分散相DOP液滴, 測量粉塵儀器為光度計, 以氣樣的濁度差別來判定過濾器對DOP顆粒的過濾效率. 目前逐步采用大流量激光粒子計數(shù)器或凝結核計數(shù)器對過濾器整個出風面進行掃描檢驗.
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